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学术讲座---“发展MEMS传感器技术的“加减乘除”法”

 

为营造浓厚的实验室学术氛围,拓宽学生知识视野,促进国内学术交流,2018年12月14日下午14:00-17:00,在机械东楼207会议室,由中科院上海微系统所李昕欣研究员为我实验室的教师及学生们带来一场深入浅出、生动的学术讲座---“发展MEMS传感器技术的“加减乘除”法”。

李昕欣研究员是传感技术国家重点实验室主任,现任中科院上海微系统所副总工,他于2007年获得国家杰出青年科学基金支持,2004年获国务院特殊津贴,2009年指导博士生获得全国百篇优秀博士论文。曾获国家技术发明二等奖一项和上海市技术发明一等奖一项。拥有发明专利100多项且有十几项已成功向企业授权转化。

报告中根据他在多年研究的心得体会,将MEMS传感器技术的四个重要的发展方面形象地归结为加减乘除。具体为:Combo sensor发展中集成的敏感轴数在不断做加法,为MEMS集成工艺乃至异质巨集成工艺的发展提出了挑战。 而面对化学传感器目前研发的敏感材料很多但可实用的不多这个瓶颈,需要提取敏感材料背后的热力学动力学参数来进行评估和筛选,为敏感材料的种类做优化的减法。而针对混杂环境下的痕量识别检测,提出了采用多种谱学检测原理联合检测,并用MEMS技术将多谱学检测设备集成缩小成廉价和便携的集成谱学微传感器,进而利用多谱学检测得到的多个正交信息,经融合与智能提升,实现传感信息的乘法,来实现精准的检测与识别。最后,面对物联网大数据时代的现场传感网节点,提出要注重信息除以能耗后的传感能效,进而介绍一种采用智能化能量采集器实现的现场零供电报警传感器的新技术。

精彩的讲座获得了全体师生的一致赞扬,其对实验室的学术研究、教学团队的建设与发展、研究生的培养等,都会产生积极的影响。期待精彩的学术讲座陆续举办。

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