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半导体参数测试系统

 

设备简介:

美国吉时利公司的半导体参数测试系统,能够测量半导体元器件及设备的IV特性,实时绘图与分析,具有高精度和亚fA级的分辨率,提供105nA到105mA的测量电流。它有先进的系统集成能力,包括完整的嵌入式PC机、Windows NT操作系统与大容量存储器,其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程。此设备为模块化结构,配置灵活。

                                                 

 

美国micromanipulator公司的三维手动探针台,提供最大10倍目镜和20倍物镜,可装载的样品直径最大为6英寸,样品台移动范围为101.6mm*101.6mm,探针座采用真空吸附的方式,接触电阻小,广泛应用于半导体、微电子、光电子等领域。

     

半导体参数测试系统和三维手动探针台联用进行测量操作。

 

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