设备简介：

美国吉时利公司的半导体参数测试系统，能够测量半导体元器件及设备的IV特性，实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率，提供105nA到105mA的测量电流。它有先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式PC机、Windows NT操作系统与大容量存储器，其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程。此设备为模块化结构，配置灵活。

美国micromanipulator公司的三维手动探针台，提供最大10倍目镜和20倍物镜，可装载的样品直径最大为6英寸，样品台移动范围为101.6mm*101.6mm，探针座采用真空吸附的方式，接触电阻小，广泛应用于半导体、微电子、光电子等领域。

半导体参数测试系统和三维手动探针台联用进行测量操作。