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表面轮廓仪

 

仪器简介:

    日本小坂研究所的表面轮廓仪,采用触针与被测样品直接接触的方式来测定表面轮廓,获得表面轮廓曲线,能够测量台阶高度、宽度、样品表面粗糙度及相关参数,并能进行应力测量。测量力500μN范围内可自由设定,系统自动水平补正,适用于半导体、微机电、材料、物理等领域的研究。

                                                                   

   

主要参数:

    Z方向量程:100μm

    样品最大尺寸:220mm×220mm

    样品最大重量:2KG

         基准轴测量速度:0.005 2mm/s

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