仪器简介：

日本小坂研究所的表面轮廓仪，采用触针与被测样品直接接触的方式来测定表面轮廓，获得表面轮廓曲线，能够测量台阶高度、宽度、样品表面粗糙度及相关参数，并能进行应力测量。测量力500μN范围内可自由设定，系统自动水平补正，适用于半导体、微机电、材料、物理等领域的研究。

主要参数：

Z方向量程：100μm

样品最大尺寸：220mm×220mm

样品最大重量：2KG

基准轴测量速度：0.005～2mm/s