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微纳测试平台
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扫描电子显微镜

 

仪器简介:

日本电子公司的扫描电子显微镜,利用聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号调制成像,能对固体样品的表面形貌和表面结构进行观察分析,包括材料断口的检测分析。样品制备简单,分辨率高,景深大,且图像富立体感。

                                                               

 

主要参数:

    分辨率:高真空3nm;低真空4nm

    样品最大直径:152.4mm

    样品台移动范围:X轴80mm;Y轴40mm;Z轴43mm

    样品台倾斜角度: -10º ~ +90º

    样品台旋转角度:360º

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