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光谱椭偏仪

 

仪器简介:

    美国J.A.Woollam公司的光谱椭偏仪,用于单层或多层透明或半透明薄膜的厚度和光学常数等的测定,是一种用于薄膜无损分析的智能化仪器,广泛应用于化学、材料、半导体等研究领域它通过测量反射光偏振态的变化, 获得椭偏参数,然后建立样品模型,利用算法模拟光束反射过程中与样品的相互作用来拟合出所测样品的有关特性,如膜厚、折射率、消光系数等。

             

主要参数:

    波长范围: 193 ~ 1700 nm

    测量角度:自动角40º~ 90º

    极快的测量速度,多波长同时测量,每次测量只需1-5秒

    旋转补偿专利技术保证Delta的准确测量

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