仪器简介：

本原纳米仪器公司的扫描探针显微镜，集成了原子力显微镜、横向力显微镜和扫描隧道显微镜的功能，通过探针在样品表面扫描，获取样品的表面形貌等信息。内置温湿度传感器，可检测环境温、湿度，并在数字表上实时显示；内置亮度连续可调的照明光源，方便实时过程观察；合金气密罩体，可一定程度上隔离外界扰动。

主要参数：

1、分辨率：原子力显微镜：横向0.2nm，垂直0.1nm（以云母晶体标定）

扫描隧道显微镜：横向0.1nm，垂直0.01nm（以石墨晶体标定）

2、样品最大直径：45mm

3、采用高速高精度ADC和DAC芯片,满足高分辨率成像，图像分辨率最高达4096×4096物理象素。

4、样品二维粗移动采用正交直读式测微头，能有效保证检测区域XY二维独立调节及微米级的控制精度。