设备简介：

单点式激光测振仪是Polytech公司生产的非接触式物体表面振动测量仪器。仪器根据激光的多普勒效应原理测量物体表面某点沿激光入射方向的振动幅度。广泛测量微纳器件、微小器件表面等小型仪器产品在工作状态下的振动情况。仪器由两部分组成，光学传感头和激光发生器。光学传感头配有显微定点功能，使测量时激光准确在待测点聚焦，保证测量位置的准确性，方便于微纳米尺寸结构的器件测量。

主要参数：

最大速度：810mm/s

频率范围：0~2M赫兹

位移分辨率：2pm