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微纳仪器与装备

 

微纳技术产业化发展,离不开能实现位置、形状、尺寸、材料取向在微纳米尺度高度可控的工业化装备,而此类装备研发涉及到精密机械、微电子、自动控制、计算机、物理等多个领域,是高度复杂的系统工程,目前国内多数高端微纳测试和加工设备仍需依赖进口。本方向主要针对微纳测试和微纳集成装配技术与仪器设备开展研究。

在微纳测试方面,特征尺寸和表面形貌等几何参数的测量、表面力学量及结构机械性能的测量、含有可动机械部件的微纳系统动态机械性能测试、微纳制造工艺的实时在线测试方法和微纳器件质量快速检测等是重要问题。

在微纳集成装配方面,围绕精密定位与对准、粘滞力与重力的控制、速度与效率等问题,高速、高精度、并行装配技术等,重点研究基于多场和尺度效应的高精度、高通量、低成本和多维操纵方法与关键技术,开展精密与微小器件装配关键问题研究、研发装配自动化技术和设备,提升精密微小/微纳器件制造企业的技术水平和工程化能力。

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